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PRODUCT

プロダクト

アルバックの製品は、エレクトロニクスはもとより次世代エネルギーやバイオテクノロジーなどの先端産業・科学にまでおよび、私たちの生活に密着した商品の製造に利用されています。
近年、急速な技術革新と連動し、アルバックの製品が活躍するフィールドは加速度的にひろがっています。


FPD及びPV製造装置

アルバックは、様々なFPD※1及びPV※2製造技術に関わっており、製造装置の開発はもちろんのこと、材料の開発をすることでソリューションをグローバルに提供しています。
※1 FPD:フラットパネルディスプレイの略
※2 PV:太陽光発電を示す「PhotoVoltaic」の略

【主要製品】
FPD製造装置 ●液晶ディスプレイ製造装置 ●有機EL製造装置 ●巻取式成膜装置
PV製造装置 ●結晶系太陽電池製造装置 ●化合物系太陽電池製造装置
スパッタリング装置、 真空蒸着装置、 CVD装置、イオン注入装置、有機EL用封止装置 など

【製品用途】
●液晶、有機ELパネル製造時の薄膜形成工程 ●有機ELパネル製造時の発光層など形成工程 ●太陽電池製造時の薄膜形成工程 ●各種フィルムへの薄膜形成工程

スパッタリング装置 SMDシリーズ

有機EL製造装置ZELDAシリーズ

半導体及び電子部品製造装置

次世代半導体や高機能デバイスは、さらなる高集積化と高性能化、低コストが求められています。アルバックはそうした半導体や電子部品の超微細化技術を開発し、社会の進化を支えるべく新たな技術・製品を次々と世に送り出しています。

【主要製品】
●半導体製造装置 ●LED製造装置 ●電子部品製造装置 ●光学膜形成装置
スパッタリング装置、真空蒸着装置、CVD装置、エッチング装置、アッシング装置、イオン注入装置、アニーリング装置 など

【製品用途】
●半導体製造時の薄膜形成工程など ●電子部品製造時の薄膜形成、微細加工工程など

スパッタリング装置 ENTRONシリーズ

スパッタリング装置 SMEシリーズ

一般産業用装置

アルバックの一般産業向け真空装置の歴史は古く、真空技術がまだ黎明期だった1950年代から取り組んできた伝統ある事業分野です。
現在はこれまでに培ってきた基盤技術を駆使して、自動車、医薬品、食品など幅広い産業・分野に多彩なソリューションを提供しています。

【主要製品】
●真空熱処理炉 ●真空ろう付炉 ●真空溶解炉 ●希土類磁石生産装置 ●凍結真空乾燥装置 ●真空蒸留装置 ●漏れ試験装置

【主要顧客】
●熱処理加工業 ●自動車部品メーカー ●高性能磁石メーカー ●化学メーカー ●医薬品、食品メーカー

【製品用途】
●熱処理加工 ●自動車などの熱交換器の真空ろう付 ●高性能磁石製造時の真空溶解、真空焼結など ●フリーズドライ食品や医薬品の製造

真空ろう付炉 FBCシリーズ

真空溶解炉 FMIシリーズ

コンポーネント

真空総合メーカーとして、コンポーネント開発にも力を注いでいます。真空ポンプや計測・分析機器から各種成膜装置用電源、真空バルブなどの構成部品まで多種多様なラインアップをとりそろえるとともに、最先端の真空技術を追求しています。

【主要製品】
●真空ポンプ ●真空計 ●ヘリウムリークディテクタ ●プロセスガスモニタ ●分光エリプソメータ ●触針式プロファイラ ●EB・RF・DC電源 ●真空バルブ ●成膜コントローラ ●真空搬送ロボット

【主要顧客】
●FPD、半導体、 電子部品メーカー ●真空装置メーカー ●製造業全般 ●研究機関、大学、官公庁

【製品用途】
●真空装置における真空槽の排気、圧力測定 ●真空吸着ラインの排気 ●Heを用いた真空の漏れ検査 ●真空中の分析

ドライ真空ポンプ LR/HR/UR シリーズ

高速分光エリプソメータ UNECS-Portable

材料

アルバックは、スパッタリングターゲットなど様々な産業分野向けに電子材料を提供しています。また、高機能材料分野では、チタン、タンタル、ジルコニウム、ニオブなどの一貫製造及び精密加工技術を提供しています。

【主要製品】
●スパッタリングターゲット材料 ●高融点活性金属材料及び部品製作 ●ナノメタルインク

【主要顧客】
●FPD(液晶、有機EL)パネルメーカー ●半導体、電子部品メーカー ●研究機関、大学、官公庁

【製品用途】 
●スパッタリング法による薄膜形成時のターゲット材料 ●超伝導加速器の加速空洞など ●インクジェット法による配線形成

半導体製造装置向けスパッタリングターゲット